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晶原仓
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特征
整合储存工位,搭配富创得自主研发的控制算法,可解决现场较长工艺流程导致的吞吐不畅问题
内置多重Mapping功能,可在多工段进行叠片、斜片等检测,杜绝整盒晶圆传输中的撞片问题
前后腔体隔离,晶圆运转腔体对接工艺设备
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